第二百九十九章 摩尔定律你听说过没有（2/4）

或许，自己能够做一些事情。

“徐师兄，我听毕主任说，你们正在研究的是g线光刻胶。对于i线以及krf光刻胶，你们有没有涉及？”高凡问道。

他说的毕主任，叫毕连生，是08实验室的室主任，一位不苟言笑的中年知识分子。

光刻技术，按照使用的光源不同，可以分为许多类，或者称为不同代际也可以。

上世纪60年代，光刻技术刚刚出现的时候，使用的是普通的可见光光源，那时候的光刻机其实就是拿一个大灯泡照射掩膜板，和照相馆里冲洗照片没啥区别。

80年代，光源进化为采用高压放电汞灯产生的436纳米和365纳米光源，前者称为g线光源，后者称为i线光源，都属于近紫外光源。

90年代之后，出现了使用准分子激光器的248纳米、193纳米和157纳米光源，分别称为krf、arf和f2光源，属于深紫外光源。

再至于被誉为“皇冠上的明珠”的euv光刻机，使用的是纳米的极紫外光源，它的出现时间已经要算到2010年之后了。

时下，g线光源还是集成电路制造中使用的主流光源。i线光源光刻机已经问世，但还没有得到大规模推广。至于krf，实验室概念已经提出来了，真正投入使用，还得是十年后的事情。